Baudynamik bei Fertigungsstätten der Mikro- und Nanotechnologie
Projekte 2022
AT&S, Leoben (Österreich)
Baudynamische Auslegung einer neuen Produktionsfabrik
Vishay Siliconix, Itzehoe
Baudynamische Untersuchungen und Auslegung einer neuen Halbleiterfabrik
Bosch Reutlingen
Untersuchung der dynamischen Emission und Empfindlichkeit von Test-Drehkammern
Zeiss SMT, Oberkochen
Standortuntersuchung, Flächenevaluierungen, Baudynamische Auslegung von neuen Produktionsgebäuden
Infineon, Kulim
Baudynamische Auslegung einer neuen Halbleiterfabrik
ams-OSRAM Premstätten
Baudynamische Untersuchungen zu einer geplanten Standorterweiterung
Infineon Dresden
Klassifizierung der Schwingungsklassen am gesamten Standort
Projekte 2021
JUMO Fulda
Baudynamische Untersuchung eines geplanten Umzugs von empfindlichen Geräten
Pfizer Manufacturing, Belgien
Baudynamische Berechnungen und Tragwerksoptimierung für den Neubau IFC
Jenoptik, Dresden
Baudynamische Voruntersuchungen und Auslegung einer neuen Hightech-Fabrik
Bosch, Dresden
Untersuchung von erschütterungsbedingten Störungen im Reinraum
Siltronic Freiberg
Baudynamische Untersuchung und Auslegung für eine neue Ziehhalle
Infineon Villach
Schwingungsmonitoring während der Ramp-Up-Phase einer neuen Fabrik
Bosch Reutlingen
Baudynamische Auslegung einer neuen Waferfabrik und einer Reinraumerweiterung, Standortevaluierung für diverse Tools, Untersuchung zur Umnutzung von Flächen
Infineon Dresden
Flächenevaluierung zur Aufstellung von empfindlichen Tools
Globalfoundries Dresden
Baudynamische Flächenevaluierung zur Aufstellung von empfindlichen Tools
Projekte 2020
Heraeus, Kleinostheim
Schwingungstechnische Standortuntersuchung und baudynamische Auslegung für ein neues Produktionsgebäude
Sony DADC, Thalgau
Untersuchung zum Umzug von Lithografie-Geräten
Siemens Healthcare, Forchheim
Baudynamische Auslegung für das neue HEP-Gebäude
Bosch Penang (Malaysia)
Baudynamische Auslegung eines neuen Produktionsgebäudes
Zeiss SMT, Oberkochen
Baudynamisches Konzept für den Neubau von zwei Produktionsgebäuden
Infineon Villach
Messtechnische Untersuchung der Immissionen aus dem Betrieb von Pumpen
Bosch Reutlingen
Flächenevaluierung zur Aufstellung von empfindlichen Tools
Infineon Dresden
Untersuchung von störenden Deckenschwingungen und Ursachenfindung
Projekte 2019
Chipfabrik Zelenograd (Russland)
Messtechnische Untersuchung zum geplanten Neubau einer Waferfabrik
Zeiss Guangzhou, China
Baudynamische Auslegung und Nachweismessung für ein neues Produktionsgebäude
Zeiss Oberkochen
Baudynamische Evaluierung von Flächen für Neu- und Erweiterungsbauten
Bosch Reutlingen
Untersuchung und Auslegung eines Lithografie-Erweiterungsgebäudes
Infineon Dresden
Standortevaluierung und Untersuchungen an verschiedenen Tools
Elmos Semiconductor AG, Dortmund
Erschütterungstechnische Untersuchung zur Aufstellung von neuen Tools
Projekte 2018
Amkor Portugal
Messtechnische Untersuchung zur Aufstellung von empfindlichen Tools
Bruker, Ettlingen
Baudynamische Voruntersuchung und Auslegung eines neuen Gebäudes
Bosch, Reutlingen
Flächenevaluierung zur Aufstellung von empfindlichen Tools
Dr. Johannes Heidenhain, Hochreit
Baudynamische Auslegung eines neuen Produktionsgebäudes
Elmos Semiconductor AG, Dortmund
Baudynamische Untersuchung zu einer Flächenumnutzung
Infineon Villach
Baudynamische Auslegung einer neuen Waferfabrik
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IHP, Frankfurt (Oder)
Schwingungstechnische Voruntersuchungen für die Erweiterung des Reinraumes, baudynamische Auslegung des Bauwerks, baubegleitende Beratung und Schwingungsmonitoring im Bestandsgebäude während der Baumaßnahmen.
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Bosch, Bangalore
Baudynamische Auslegung einer Geschossdecke für den Betrieb von Pick & Place-Bestückungsautomaten.
Projekte 2017
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Globalfoundries, Dresden
Baudynamische Konzeption einer Waferfab-Erweiterung, Waffeloptimierung (Raster, Dicke, Schwingungsgrenzwerte).
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Huawei, Weilheim
Standortevaluierung für SEM (Schwingungen und Magnetfelder).
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Bosch, Dresden
Baudynamische Auslegung einer Waferfabrik: Messtechnische Voruntersuchungen, baudynamisches Konzept des Tragwerks, Baustellenkonzept, Beratung zur Aufstellung von Aggregaten, Monitoring der Schwingungen aus der Großbaustelle in umliegenden Gebäuden.
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IBS Precision Engineering
Schwingungsmessungen an einer Hochpräzisionsvermessungsmaschine.
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Infineon, Dresden
Flächenevaluierung und Monitoring während interner Baumaßnahmen.
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Carl Zeiss SMT, Oberkochen
Baudynamische Beratung für zwei Erweiterungsbauten.
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Nanoscribe
Messung und Beurteilung der Erschütterungsimmissionen aus Straßenverkehr für einen Neubau. Formulierung von Schwingungsanforderungen für ein empfindliches Gerät.
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Texas Instruments TI, Freising
Erweiterung und Umbauten im Reinraum für neue Stepper.
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Avago Technologies GmbH
Baudynamische Untersuchung Aufstellort Laborgeräte und Büros.
Projekte 2016
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Infineon Kulim Fab2, Malaysia
Abnahmemessungen der neuen FAB2 Infineon Malaysia, Messung der Schwingungspegel der Fertigungsbereiche Waffeltisch, Support und Test. Messung der Struktursteifigkeiten, Abnahme der schwingungsbeeinflussenden Maßnahmen (Pipe rack, Schwingungsisolierungen, Entkopplungen).
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ELI Beamline, Prag
Baudynamische Beratung und Schwingungsmessungen im LASER-Gebäude.
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Infineon, Regensburg
Baudynamische Konzeptionierung und Bemessung des Erweiterungsneubaus H17.
Projekte 2015
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Deutschlandradio, Köln
Abbruchkonzept für das ehemalige Gebäude der Deutschen Welle. Ermittlung von Grenzwerten für die IT Technik im benachbarten Funkhaus des Deutschlandradios in Köln.
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STRABAG Campus, Köln
Untersuchung von Schwingungseinwirkungen aus Eisenbahnverkehr und hausinternem Fitnessraum auf das Rechenzentrum des neu geplanten Bürogebäudes.
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Preh GmbH
Untersuchung von Deckenschwingungen durch SIPLACE-Bestückungsautomaten und Dimensionierung von Ertüchtigungsmaßnahmen.
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Boehringer Ingelheim MicroParts GmbH
Baubegleitendes Erschütterungsmonitoring in den angrenzenden Produktionsflächen von Neubau Modul 3.
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NTNU NanoLab Chemistry Building, Trondheim
Dynamische Auslegung eines Sonderfundaments für ein Elionix ELS-G100 Ebeam.
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OSRAM Opto Semiconductors GmbH, Regensburg
Schwingungsmessungen im Bestand und auf dem Baugrund. Baudynamisches Konzept und FEM-Simulation für den Neubau des Gebäudes 34.
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Novaled, Dresden
Baudynamische Standortevaluierung für den geplanten Neubau zur Unterbringung schwingungsempfindlicher Geräte.
Projekte 2014
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Landeskriminalamt Sachsen, Dresden
Untersuchung der Baugrundschwingungen des Geländes zur geplanten Aufstellung von schwingungsempfindlichen Geräten des LKA und Beratung zur Gebäudegründung.
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X-FAB in Dresden
Schwingungsuntersuchung im Rahmen des geplanten Umzugs von CMP tools.
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Infineon, Villach
Beratung zum Schutz eines bestehenden Reinraumgebäudes mit laufender Produktion vor Baustellenerschütterungen in der Nähe.
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AMS, Graz, Österreich
Schwingungsmessungen auf der Waffeldecke, Design eines Spezialfundaments und QS-Messungen nach der Aufstellung.
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Infineon, Warstein
Baudynamische Untersuchung und Beratung zur Aufstellung einer Schwingungsprüfanlage zur Durchführung von Zuverlässigkeitstests.
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IHP Frankfurt (Oder)
Qualitätssicherungsmessung am Aufstellort eines KLA Tencor Archer 100.
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Infineon, Dresden
Beurteilung von Baustellenerschütterungen auf benachbarte Reinraumgebäude.
Projekte 2013
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Infineon, Dresden
Standortevaluierung einer Aufstellfläche für ein Hitachi SEM.
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IHP Frankfurt (Oder)
Baudynamische Voruntersuchung zur Aufstellung eines KLA Tencor Archer 100.
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Technologie- und Gründerzentrum Freital GmbH (TGF), Freital
Messtechnische Flächenevaluierung der zukünftigen Reinraumflächen im Neubau des TGF.
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EADS, Pullach (Isartal)
Baudynamisches Gebäudekonzept sowie optimiertes Gründungskonzept für schwingungsempfindliche Labornutzung des Neubaus.
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LamResearch Villach, Österreich
Standortevaluierung für ein KLA 2365 Wafer Inspection System und ein Hitachti SEM.
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Vishay Siliconix Itzehoe GmbH
Schwingungsuntersuchung zur Aufstellung von schwingungsempfindlichen Geräten (ASML Stepper und Nikon Scanner) im bestehenden Reinraum.
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Vishay Siliconix Itzehoe GmbH
Baudynamische Untersuchung und Auslegung der Aufstellung einer Wärmepumpe auf dem Dach.
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WITec Ulm
Schwingungsmessungen zur Beweissicherung im Vorlauf zu einem Bauvorhaben in der Nähe des Gebäudes mit schwingungsempfindlicher Nutzung.
Projekte 2012
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Texas Instruments, Freising
Dynamische Untersuchung zur Aufstellung von Nikon Scannern SNC01 und SNC02.
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IHP Frankfurt (Oder)
Standortevaluierung und Fundamentdesign für einen Nikon Stepper.
Projekte 2011
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AEMtec GmbH Berlin, Neubau Fertigung in Berlin Adlershof
Standortevaluierung und baudynamisches Konzept für den Neubau der Produktionsfläche am Standort Berlin Adlershof.
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Elmos Semiconductor AG, Dortmund
Baudynamische Beurteilung einer neuen REM-Labor Fläche in Bezug auf Erschütterungen und EMI-Felder und Vergleichsmessung eines REM-Labors im Bestand.
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LEICA Portugal
Standortevaluierung für ein neues Produktionsgebäude.
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First Sensor, Berlin
Messtechnische Untersuchung und Evaluierung der Aufstellfläche für einen Nikon Stepper.
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FAB-Gebäude, Global Foundries Abu Dhabi
Baudynamische Konzeption der neuen Halbleiterfabrik.
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Zeiss SMT, Oberkochen
Baudynamische Beratung für die geplanten Erweiterungsneubauten.
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Hitachi High-Technologies Europe GmbH, Dresden
Standortevaluierung im bestehenden Reinraum durch Messung von Erschütterungen, Schall, EMI und Temperatur.
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Infineon Villach
Baudynamische Konzeption des Erweiterungsneubaus.
Projekte 2010
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Infineon, Dresden
Vibration investigation and dynamic design of a foundation for a microbalance for wafers.
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Carl Zeiss SMS, Schwingungsmessung Japan
Standortevaluierung bezüglich Bauwerksschwingungen für die Aufstellung eines Gerätes zur Vermessung von Photomasken.
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FAB-Gebäude, Global Foundries Dresden: Modul 1, Erweiterung
Konzept und baudynamische Planung des neuen Reinraumgebäudes.
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X-FAB in Dresden
Schwingungsmessungen für die Beurteilung der Aufstellbedingungen zweier Rasterelektronenmikroskope und für ein Konzept für die zukünftige Aufstellung schwingungsempfindlicher Messsysteme im Reinraum.
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Bosch Solar Energy AG, Arnstadt
Baudynamische Beurteilung der Aufstellfläche für eine Zeiss Messmaschine.
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Schneider GmbH & Co. KG
Präzisionsschleiferei, Baudynamische Auslegung des UP-Bereiches (Ultrapräzisionsbereich).
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Leibniz-Institut für Polymerforschung Dresden e.V.
Fundamentdesign und Abnahmemessung für die Aufstellung eines Tools LT-STM auf einem Sonderfundament.
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Texas Instruments Deutschland, München
Standortevaluierung und Fundamentmessung für drei Nikon Scanner.
Projekte bis 2009
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IBS Präzisionsmesstechnik, Eindhoven, Holland (2009)
Schwingungsuntersuchungen und Beratungen zum Neubau.
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Halbleiterfabrik Qimonda, Singapur (2008)
Dynamische Konzeption und Auslegung der Halbleiterfabrik mit 45 nm Fertigung, Baugrundmessungen der Schwingungspegel und Steifigkeiten, FEM-Analysen.
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Carl Zeiss SMS GmbH, Jena (2008)
Schwingungstechnische Untersuchung für eine Erweiterung der Produktionsflächen.
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Boehringer Ingelheim Microparts, Dortmund (2006)
Messtechnische dynamische Bauwerksanalyse des Altbaus und baudynamische Konzeption des Neubaus.
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Halbleiterfabrik für 45 nm–Strukturen, New York, USA (2007)
Schwingungstechnische Konzeption des Neubaus, Beratung, Konzept, 45 nm.
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Umbau Halbleiterfabrik Mikron Zelenograd, Moskau (2006)
Standortevaluierung als Grundlage für Sanierungen des Reinraums und Nutzung für neue Technologien.
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Elmos Semiconductor AG, Dortmund, (2004)
Neubau des 4. Bauabschnittes, Halbleiterfertigung für Mikrostrukturen Baudynamische Auslegung des Waffeltisches, Schutz gegen Schwingungen aus der benachbarten Autobahn.
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Infineon, Power Fab, Kulim, Malaysia (2003/04)
Dynamische Konzeption und Auslegung der Halbleiterfabrik, Messungen, FEM-Analysen, Abnahme der Maßnahmen vor Ort, Nachmessungen.
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Carl Zeiss SMT AG, Oberkochen (2003)
umfangreiche Messungen und baudynamische Konzeption des Bauvorhabens, Spezielle Gründung zur Vermeidung der Erschütterungsübertragung aus der Bundesstraße.
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Infineon Headquarters Campeon (2003)
Neubau von Reinräumen mit strengen Schwingungsanforderungen, baudynamische Beratungen.
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AMD, Dresden, Neubau ATPC (2001)
Baudynamische Beratung, Berechnungen und Messungen für Neubau für 90 nm Strukturen.
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AMTC Advanced Mask Technology Centre (AMD, Qimonda, Toppan), Dresden (2001)
Baudynamische Konzeption des Neubaus, Messungen, Prognosen, Berechnungen.
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AMS Austria Microsystems, Graz, Österreich (2000)
Baudynamisches Konzept für Chipfabrik unmittelbar neben einer Autobahn, Berechnungen, Messungen, Betreuung Neubaumaßnahme.
Die Referenzliste stellt lediglich einen Auszug unserer Projekte dar, sie ist nicht vollständig.
Referenzen als pdf: